耐プラズマ性パーフロロゴム
TOMBO™ No. 2670-PFW
ゴムOリング パーフロPFW
耐プラズマ性に優れ、半導体製造のドライエッチング装置などで使用されます。
製品カテゴリー
ゴム製品高機能ゴム
産業分野
エレクトロニクス半導体・FPD電子部品
特長
標準硬度（DuroＡ）:70
プラズマ暴露時の重量減少が少なく、耐プラズマ性に優れています。
※諸条件によって耐熱目安は異なります。
用途
その他
- 「TOMBO」はニチアス（株）の登録商標です。
- ®が付された名称はニチアス（株）の登録商標です。
- ™が付された名称はニチアス（株）の商標です。
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