ブレイザー® Oリング-FE

耐プラズマ性特殊ふっ素ゴム

TOMBO™ No. 2675-FE，2685-FE

ブレイザーOリング-FC(BFC)、ブレイザーOリング-FE(BFE)は耐プラズマ性、低価格を特長とする特殊フッ素ゴム(特殊FKM)です。当社が有するブレンド技術により、プラズマによるゴムの重量減少やクラック発生などを抑えるのと同時に、パーフロロゴム(FFKM)と比較して大幅な低コスト化を実現しました。

製品カテゴリー

ゴム製品高機能ゴム

産業分野

エレクトロニクス半導体・FPD電子部品各種工場の設備配管

特長

プラズマ曝露による重量減少やクラックなどが起きにくい材料です。
非固着性に優れるため、可動部でも好適使用できます。
低含有金属なので、パーティクルの問題が低減できます。

用途

半導体・液晶製造装置のうち、プラズマ環境に曝されるシール部
FKMでは寿命やパーティクルに問題がある箇所
FFKMではコスト・性能が高すぎる箇所

対象装置
ブレイザーOリング-FE：プラズマエッチング装置

耐プラズマ性（重量減少率）

評価条件
装置：表面波プラズマエッチング装置
試料形状： AS568B-214
ガス種： O2 (2000sccm) + CF4 (40sccm)
圧力： 133 Pa
出力： 2000W
曝露時間： 2.0 hr
伸ばし率： 5 %

耐プラズマ性（耐クラック性）

評価条件
装置：表面波プラズマエッチング装置
試料形状： AS568B-214
ガス種： O2 (2000sccm) + CF4 (40sccm)
圧力： 133 Pa
出力： 2000W
曝露時間： 2.0 hr
伸ばし率： 5 %
外観観察：20minまで5min間隔、以後10min間隔で120minまで

その他

「TOMBO」はニチアス（株）の登録商標です。
®が付された名称はニチアス（株）の登録商標です。
™が付された名称はニチアス（株）の商標です。