ニチアス

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製品案内

Product

ケミカルフィルター

TOMBO™ No. 8803-HC/-HA/-HT

ケミカルガード®

クリーンルームや半導体製造装置などに対応した低濃度のガス(アンモニア、酸、有機物など)を除去するフィルターです。独自のハニカム製造技術を応用し、吸着材・機能材を壁内に大量に担持することで、極めて低濃度(数μg/m3)のガス成分も高効率に除去することができます。

製品カテゴリー

フィルター関連製品フィルター製品

産業分野

エレクトロニクス半導体・FPD電子部品各種工場の設備クリーンルーム

特長

極微細ハニカム構造による高接触面積により高除去率を、吸着容量の大きい吸着剤の選定により長寿命を実現させました。

種類

TOMBO No.8803-HC
塩基性ガス除去用ケミカルフィルター
アンモニア、トリメチルアミンなど
TOMBO No.8803-HA
酸性ガス除去用ケミカルフィルター
SOx、NOx、Clなど
TOMBO No.8803-HT
有機ガス用ケミカルフィルター
DOP、DEP、シロキサンなど高沸点有機物

その他

  • 「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標です。
  • ®が付された名称はニチアス(株)の登録商標です。
  • ™が付された名称はニチアス(株)の商標です。
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