ケミカルフィルター
TOMBO™ No. 8803-HC/-HA/-HT
ケミカルガード®
クリーンルームや半導体製造装置などに対応した低濃度のガス(アンモニア、酸、有機物など)を除去するフィルターです。独自のハニカム製造技術を応用し、吸着材・機能材を壁内に大量に担持することで、極めて低濃度(数μg/m3)のガス成分も高効率に除去することができます。
製品カテゴリー
フィルター関連製品フィルター製品
産業分野
エレクトロニクス半導体・FPD電子部品各種工場の設備クリーンルーム
特長
種類
塩基性ガス除去用ケミカルフィルター
アンモニア、トリメチルアミンなど
TOMBO No.8803-HA
酸性ガス除去用ケミカルフィルター
SOx、NOx、Clなど
TOMBO No.8803-HT
有機ガス用ケミカルフィルター
DOP、DEP、シロキサンなど高沸点有機物
その他
- 「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標です。
- ®が付された名称はニチアス(株)の登録商標です。
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