ニチアス

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製品案内

Product

着脱式配管加熱・保温用ジャケットヒーター

TOMBO™ No. 4500-PH

エネサーモ® PH

クリーンルーム対応の着脱可能な配管加熱・保温用ジャケットヒーター。
ヒーター施工、制御盤設置、2次配線など、貴社のご要望に応じて対応いたします。

製品カテゴリー

断熱材常温~200℃

産業分野

エレクトロニクス半導体・FPD各種工場の設備クリーンルーム配管ポンプ、バルブ

特長

着脱自在です。
低発塵性です。
最高使用温度200℃(さらに高温仕様ヒーターも設計可能です。)
低アウトガス(シロキサンは発生しない事を確認済みです。)

用途

半導体・液晶装置関連の機器・配管類の加熱
・CVD、ドライエッチング装置の排気配管のデポジット防止
・CVD、ドライエッチング装置の供給配管の液化防止
・ドライポンプ、除害装置の配管の加熱
食品機器関連の配管の加熱

その他

  • 「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標です。
  • ®が付された名称はニチアス(株)の登録商標です。
  • ™が付された名称はニチアス(株)の商標です。
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