着脱式配管加熱・保温用ジャケットヒーター
TOMBO™ No. 4500-PH
エネサーモ® PH
クリーンルーム対応の着脱可能な配管加熱・保温用ジャケットヒーター。
ヒーター施工、制御盤設置、2次配線など、貴社のご要望に応じて対応いたします。
製品カテゴリー
断熱材常温~200℃
産業分野
エレクトロニクス半導体・FPD各種工場の設備クリーンルーム配管ポンプ、バルブ
特長
低発塵性です。
最高使用温度200℃(さらに高温仕様ヒーターも設計可能です。)
低アウトガス(シロキサンは発生しない事を確認済みです。)
用途
・CVD、ドライエッチング装置の排気配管のデポジット防止
・CVD、ドライエッチング装置の供給配管の液化防止
・ドライポンプ、除害装置の配管の加熱
食品機器関連の配管の加熱
その他
- 「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標です。
- ®が付された名称はニチアス(株)の登録商標です。
- ™が付された名称はニチアス(株)の商標です。