半導体・FPD

製造プロセス

半導体製造工程で使用する各種ふっ素樹脂製品、ガスケット、断熱材を紹介しています。

シート
一般名称 製品名 TOMBO No.
PTFE製シート ナフロン®PTFEシート No.9000
PFA製シート ナフロン®PFAシート No.9000-PFA
PCTFE製シート ナフロン®PCTFEシート No.9000-PCTFE
ロッド
一般名称 製品名 TOMBO No.
PTFE製ロッド ナフロン®PTFEロッド No.9002
PFA製ロッド ナフロン®PFAロッド No.9002-PFA
PCTFE製ロッド ナフロン®PCTFEロッド No.9002-PCTFE
テープ
一般名称 製品名 TOMBO No.
PTFE製テープ ナフロン®PTFEテープ No.9001
PTFE製セメンタブルテープ ナフロン® PTFEセメンタブルテープ No.9004-K/-R
パイプ
一般名称 製品名 TOMBO No.
PTFE製パイプ ナフロン®PTFEパイプ No.9008
チューブ、チューブ加工品
一般名称 製品名 TOMBO No.
PFA薬液移送用チューブ ナフロン®PFA-HGチューブ No.9003-PFA-HG
帯電防止機能付PFAチューブ ナフロン®PFA-NEチューブ No.9003-NE
内外面帯電防止機能付きPFAチューブ ナフロン®PFA-ASチューブ No.9003-PFA-AS
PTFE/PFA/FEPチューブ ナフロン®チューブPTFE/PFA/FEP No.9003-PTFE/PFA/FEP
曲げやすく座屈しにくいチューブ ナフロン®BTチューブ No.9003-BT
柔軟性に富んだチューブ ナフロン®RPLチューブ No.9003-RPL
曲げ加工チューブ ナフロン®PFA/PTFEチューブ加工品 No.9055-PFA/PTFE
ホース
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製ホース ナフロン®ホース -
容器
一般名称 製品名 TOMBO No.
PTFE製薬液貯蔵槽 ナフロン®PTFE製角槽 No.9500-M/-H
一体成形容器 ナフロン®PFAロトモールド容器 No.9947
加熱機器
一般名称 製品名 TOMBO No.
石英製薬液加熱槽 クリスタルH/クリスタルHスーパー No.9501-H/-HS
加工品・成形品
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂溶接加工品 ナフロン®溶接加工品 No.9023
ふっ素樹脂製射出成形品 ナフロン®射出成形品 No.9021
ふっ素樹脂製切削加工品 ナフロン®切削加工品 No.9020
摺動材
一般名称 製品名 TOMBO No.
ナフロン摺動材 エクセライド/エクセライドカーテンウォール用 No.9550/9551
その他シール製品
一般名称 製品名 TOMBO No.
PTFE製バックアップリング ナフロン®PTFEバックアップリング No.9026
ふっ素樹脂製シールテープ ナフロン®シールテープ No.9082
コーティング
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂コーティング ナフロン®コーティング No.9035
超高温用無機繊維製品
一般名称 製品名 TOMBO No.
ボード状断熱材・吸音材 MGベルト -
アルミナ繊維製品
一般名称 製品名 TOMBO No.
アルミナファイバー質断熱ボード RFボード No.5461
無機繊維紡織加工品
一般名称 製品名 TOMBO No.
低発じん着脱式フレキシブル断熱材 エネサーモ®CR No.4500-CR
着脱式配管加熱・保温用ジャケットヒーター エネサーモ®PH No.4500-PH
超高温用無機繊維応用品
一般名称 製品名 TOMBO No.
断熱材一体型ヒーターユニット    
低熱伝導率断熱材
一般名称 製品名 TOMBO No.
ボード状断熱材 ロスリム®ボード No.4350
フィルター製品
一般名称 製品名 TOMBO No.
ケミカルフィルター ケミカルガード® No.8803-HC/-HA/-HT
高機能ゴム0リング
一般名称 製品名 TOMBO No.
耐熱・耐食性パーフロロゴム ゴムOリング ブレイザーネクスト® No.2670-BNX
耐薬品性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-A No.2675-A
耐蒸気性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-S2 No.2675-S2
耐プラズマ性特殊ふっ素ゴム ブレイザー®FC No.2675-FC/2685-FC
ブレイザー®FE No.2675-FE/2685-FE
耐プラズマ性パーフロロゴム ゴムOリング パーフロPFW No.2670-PFW
高純度ふっ素ゴム(耐オゾン・耐薬品性) ゴムOリング ピュアラバー No.2670-TPEF
耐プラズマ性ふっ素ゴム ゴムOリング プラズマX-F6アルファ No.2670-FSP6-S
耐薬品性ふっ素ゴム ゴムOリング ふっ素ゴムFB No.2670-FB
低摩擦・非粘着性ふっ素ゴム ゴムOリング フロロプラス No.2670-FA-F

薬液貯蔵

薬液貯蔵に使用するタンク、耐食ライニング配管、チューブ、ガスケットなどを紹介しています。

チューブ、チューブ加工品
一般名称 製品名 TOMBO No.
PFA薬液移送用チューブ ナフロン®PFA-HGチューブ No.9003-PFA-HG
PTFE/PFA/FEPチューブ ナフロン®チューブPTFE/PFA/FEP No.9003-PTFE/PFA/FEP
ベローズ
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製伸縮継手 ナフロン®ベローズ継手 -
容器
一般名称 製品名 TOMBO No.
PTFE製薬液貯蔵槽 ナフロン®PTFE製角槽 No.9500-M/-H
一体成形容器 ナフロン®PFAロトモールド容器 No.9947
タンクライニング
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製タンクライニング
ロトライニング
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製ロトライニング ETFE/PFAロトライニング No.9966/9946
ふっ素樹脂製一体成形タンク ナフロン®PFAロトモールドタンク No.9947-T
無機繊維紡織加工品
一般名称 製品名 TOMBO No.
低発じん着脱式フレキシブル断熱材 エネサーモ®CR No.4500-CR
高機能ゴム0リング
一般名称 製品名 TOMBO No.
耐薬品性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-A No.2675-A
耐蒸気性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-S2 No.2675-S2
耐プラズマ性特殊ふっ素ゴム ブレイザー®FC No.2675-FC/2685-FC
ブレイザー®FE No.2675-FE/2685-FE
耐プラズマ性パーフロロゴム ゴムOリング パーフロPFW No.2670-PFW
高純度ふっ素ゴム(耐オゾン・耐薬品性) ゴムOリング ピュアラバー No.2670-TPEF
耐薬品性ふっ素ゴム ゴムOリング ふっ素ゴムFB No.2670-FB
低摩擦・非粘着性ふっ素ゴム ゴムOリング フロロプラス No.2670-FA-F

ユーティリティエリア

半導体製造のユーティリティエリアで使われる各種製品を紹介しています。

チューブ、チューブ加工品
一般名称 製品名 TOMBO No.
PFA薬液移送用チューブ ナフロン®PFA-HGチューブ No.9003-PFA-HG
帯電防止機能付PFAチューブ ナフロン®PFA-NEチューブ No.9003-NE
内外面帯電防止機能付きPFAチューブ ナフロン®PFA-ASチューブ No.9003-PFA-AS
PTFE/PFA/FEPチューブ ナフロン®チューブPTFE/PFA/FEP No.9003-PTFE/PFA/FEP
曲げやすく座屈しにくいチューブ ナフロン®BTチューブ No.9003-BT
柔軟性に富んだチューブ ナフロン®RPLチューブ No.9003-RPL
曲げ加工チューブ ナフロン®PFA/PTFEチューブ加工品 No.9055-PFA/PTFE
ホース
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製ホース ナフロン®ホース -
容器
一般名称 製品名 TOMBO No.
一体成形容器 ナフロン®PFAロトモールド容器 No.9947
加熱機器
一般名称 製品名 TOMBO No.
石英製薬液加熱槽 クリスタルH/クリスタルHスーパー No.9501-H/-HS
加工品・成形品
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂溶接加工品 ナフロン®溶接加工品 No.9023
ふっ素樹脂製射出成形品 ナフロン®射出成形品 No.9021
ふっ素樹脂製切削加工品 ナフロン®切削加工品 No.9020
無機繊維紡織加工品
一般名称 製品名 TOMBO No.
低発じん着脱式フレキシブル断熱材 エネサーモ®CR No.4500-CR
着脱式配管加熱・保温用ジャケットヒーター エネサーモ®PH No.4500-PH
フィルター製品
一般名称 製品名 TOMBO No.
ケミカルフィルター ケミカルガード® No.8803-HC/-HA/-HT
高機能ゴム0リング
一般名称 製品名 TOMBO No.
耐熱・耐食性パーフロロゴム ゴムOリング ブレイザーネクスト® No.2670-BNX
耐薬品性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-A No.2675-A
耐蒸気性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-S2 No.2675-S2
耐プラズマ性特殊ふっ素ゴム ブレイザー®FC No.2675-FC/2685-FC
ブレイザー®FE No.2675-FE/2685-FE
耐プラズマ性パーフロロゴム ゴムOリング パーフロPFW No.2670-PFW
高純度ふっ素ゴム(耐オゾン・耐薬品性) ゴムOリング ピュアラバー No.2670-TPEF
耐プラズマ性ふっ素ゴム ゴムOリング プラズマX-F6アルファ No.2670-FSP6-S
耐薬品性ふっ素ゴム ゴムOリング ふっ素ゴムFB No.2670-FB
低摩擦・非粘着性ふっ素ゴム ゴムOリング フロロプラス No.2670-FA-F

廃液処理および廃液輸送

廃液処理および廃液輸送に使用する耐食ライニング配管、ガスケットを紹介しています。

配管材料
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製配管材料 ふっ素樹脂ライニング配管材料
バルブ類
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製バルブ - -
タンクライニング
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製タンクライニング - -
ベッセルアクセサリー類
一般名称 製品名 TOMBO No.
ベッセルアクセサリー - -
ロトライニング
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂製ロトライニング ETFE/PFAロトライニング No.9966/9946
ふっ素樹脂製一体成形タンク ナフロン®PFAロトモールドタンク No.9947-T
コーティング
一般名称 製品名 TOMBO No.
ふっ素樹脂コーティング ナフロン®コーティング No.9035
高機能ゴム0リング
一般名称 製品名 TOMBO No.
耐蒸気性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-S2 No.2675-S2
耐薬品性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-A No.2675-A
耐プラズマ性特殊ふっ素ゴム ブレイザー®FC No.2675-FC/2685-FC
ブレイザー®FE No.2675-FE/2685-FE
耐プラズマ性パーフロロゴム ゴムOリング パーフロPFW No.2670-PFW
高純度ふっ素ゴム(耐オゾン・耐薬品性) ゴムOリング ピュアラバー No.2670-TPEF
耐薬品性ふっ素ゴム ゴムOリング ふっ素ゴムFB No.2670-FB
低摩擦・非粘着性ふっ素ゴム ゴムOリング フロロプラス No.2670-FA-F

配管機器類

配管・機器類に使われる各種製品を紹介しています。

加熱機器
一般名称 製品名 TOMBO No.
石英製薬液加熱槽 クリスタルH/クリスタルHスーパー No.9501-H/-HS
無機繊維紡織加工品
一般名称 製品名 TOMBO No.
低発じん着脱式フレキシブル断熱材 エネサーモ®CR No.4500-CR
着脱式配管加熱・保温用ジャケットヒーター エネサーモ®PH No.4500-PH
高機能ゴム0リング
一般名称 製品名 TOMBO No.
耐熱・耐食性パーフロロゴム ゴムOリング ブレイザーネクスト® No.2670-BNX
耐薬品性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-A No.2675-A
耐蒸気性パーフロロゴム ブレイザー® Oリング-S2 No.2675-S2
耐プラズマ性特殊ふっ素ゴム ブレイザー®FC No.2675-FC/2685-FC
ブレイザー®FE No.2675-FE/2685-FE
耐プラズマ性パーフロロゴム ゴムOリング パーフロPFW No.2670-PFW
高純度ふっ素ゴム(耐オゾン・耐薬品性) ゴムOリング ピュアラバー No.2670-TPEF
耐プラズマ性ふっ素ゴム ゴムOリング プラズマX-F6アルファ No.2670-FSP6-S
耐薬品性ふっ素ゴム ゴムOリング ふっ素ゴムFB No.2670-FB
低摩擦・非粘着性ふっ素ゴム ゴムOリング フロロプラス No.2670-FA-F

空気清浄化

製造工程内の微量ケミカル汚染成分を除去するフィルターおよび排出する低濃度有機溶剤を濃縮する装置を紹介しています。

フィルター製品
一般名称 製品名 TOMBO No.
ケミカルフィルター ケミカルガード® No.8803-HC/-HA/-HT
環境関連装置
一般名称 製品名 TOMBO No.
低濃度有機溶剤濃縮機 ソルベントクリーン® No.8805-SC
加湿+ケミカル物質除去装置 ハニカムウォッシャーTM No.8805-HW

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