耐プラズマ性特殊ふっ素ゴム

ゴムOリング ブレイザーネクスト TOMBO No.2670-BNX

TOMBO No. 2675-FC,2685-FC/TOMBO No. 2675-FE,2685-FE
ブレイザーFC/ブレイザーFE

ブレイザー®FC/ブレイザー®FE
TOMBO™ No. 2675-FC,2685-FC/TOMBO™ No. 2675-FE,2685-FE

ブレイザーFC(BFC)、ブレイザーFE(BFE)は耐プラズマ性、低価格を特長とする特殊フッ素ゴム(特殊FKM)です。当社が有するブレンド技術により、プラズマによるゴムの重量減少やクラック発生などを抑えるのと同時に、パーフロロゴム(FFKM)と比較して大幅な低コスト化を実現しました。

特長

  • プラズマ曝露による重量減少やクラックなどが起きにくい材料です。
  • 非固着性に優れるため、可動部でも好適使用できます。
  • 低含有金属なので、パーティクルの問題が低減できます。

用途

  • 半導体・液晶製造装置のうち、プラズマ環境に曝されるシール部
  • FKMでは寿命やパーティクルに問題がある箇所
  • FFKMではコスト・性能が高すぎる箇所

対象装置

  • ブレイザー-FC:プラズマCVD装置
  • ブレイザー-FE:プラズマエッチング装置

耐プラズマ性(重量減少率)

圧縮永久ひずみ試験結果

評価条件

  • 装置: 表面波プラズマエッチング装置
  • 試料形状: AS568B-214
  • ガス種: O2 (2000sccm) + CF4 (40sccm)
  • 圧力: 133 Pa
  • 出力: 2000W
  • 曝露時間: 2.0 hr
  • 伸ばし率: 5 %

耐プラズマ性(耐クラック性)

耐プラズマ性(耐クラック性)

評価条件

  • 装置: 表面波プラズマ エッチング装置
  • 試料形状: AS568B-214
  • ガス種: O2 (2000sccm) + CF4 (40sccm)
  • 圧力: 133 Pa
  • 出力: 2000W
  • 曝露時間: 2.0 hr
  • 伸ばし率: 5 %
  • 外観観察:20minまで5min間隔、以後10min間隔で120minまで

その他

  • 「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標または商標です。
  • 「ブレイザー」はニチアス(株)の登録商標です。
  • 禁止事項、注意事項はカタログ「ゴムOリング」をご参照ください。
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