耐プラズマ性パーフロロゴム

耐プラズマ性パーフロロゴム TOMBO No.2670-PFW

TOMBO No.2670-PFW
ゴムOリング パーフロPFW

化学構造

ゴムOリング パーフロPFW
TOMBO No.2670-PFW

耐プラズマ性に優れ、半導体製造のドライエッチング装置などで使用されます。

特長

  • 耐熱目安:200℃
  • 標準硬度(DuroA):70
  • プラズマ暴露時の重量減少が少なく、耐プラズマ性に優れています。

用途

  • プラズマエッチング装置、プラズマCVD装置などのシール

その他

  • 「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標または商標です。
  • カタログダウンロード
  • ニチアス技術時報
  • この製品に関するお問い合わせ

このページの先頭へ