耐プラズマ性ふっ素ゴム

ゴムOリング プラズマX-F6アルファ TOMBO No.2670-FSP6-S

TOMBO No.2670-FSP6-S
ゴムOリング プラズマX-F6アルファ

ゴムOリング プラズマX-F6アルファ
TOMBO No.2670-FSP6-S

プラズマX-F6アルファは、液晶製造におけるプラズマCVD、プラズマエッチング装置のシールに最適な耐プラズマ性、純粋性、物理的特性に優れたOリングです。 プラズマ環境下での重量減少、クラック発生、パーティクル発生が少なく、圧縮永久ひずみが小さいOリングです。

特長

  • 耐熱目安:200℃
  • 標準硬度(Duro A):75
  • プラズマ環境下でのクラックおよびパーティクル発生が少ないです。
  • 長期圧縮永久ひずみが小さく、長期間安定したシール性が期待できます。

用途

  • 液晶用プラズマエッチング装置、液晶用プラズマCVD装置、洗浄装置の固定部シール

その他

  • 「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標です。
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