ドライプロセス用ゴムOリング

ドライプロセス用ゴムOリング

ドライエッチング、アッシング、CVDなどのドライプロセスで使用されるゴムOリングには、より高い耐熱性、耐プラズマ性、低放出ガス特性が必要になっています。

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特性
製品名 色調 耐熱
目安
耐プラズマ性 低放出
ガス特性
真空
シール性
非粘着性
酸素 ふっ素 塩素
耐熱性 ブレイザー
ネクスト
315℃
耐プラズマ性 ブレイザーA 190℃
ブレイザーFC 200℃ ○〜◎
ブレイザーFE 200℃ ◎〜○
非粘着性 フロロプラス 200℃
汎用品 ふっ素ゴムFA 200℃
評価記号の読み方: ◎、○、△の順に最適から不適になります。但し、本表の評価は目安であり、個別の用途について保証するものではありません。実際のご使用にあたっては、実条件での試験確認を行うことをお奨めします。
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