ウェットプロセス用ゴムOリング

ウェットプロセス用ゴムOリング

リソグラフィー、洗浄、ウェットエッチングなどのプロセスで使用されるゴムOリングは、耐薬品性、純粋性はもとより、用途によっては耐オゾン性、非粘着性なども必要になっています。

活用する
特性
製品名 色調 耐熱
目安
耐薬品性 純粋性
(溶出金属)
非粘着性
耐油 耐酸 耐アルカリ 耐溶剤 耐オゾン
耐薬品性 ブレイザーA 190℃
ふっ素ゴムFB 200℃
耐オゾン性 ブレイザーA 190℃
ピュアラバー 透明 150℃
非粘着性 フロロプラス 200℃
(Mg、Ca)
汎用品 ふっ素ゴムFA 200℃
(Mg、Ca)
評価記号の読み方: ◎、○、△の順に最適から不適になります。ただし、本表の評価は目安であり、個別の用途について保証するものではありません。
  • カタログダウンロード
  • ニチアス技術時報
  • この製品に関するお問い合わせ

このページの先頭へ