着脱式配管加熱・保温用ジャケットヒーター

エネサーモPH TOMBO No.4500-PH

TOMBO No.4500-PH
エネサーモPH

エネサーモ®PH
TOMBO No.4500-PH

クリーンルーム対応の着脱可能な配管加熱・保温用ジャケットヒーター。
ヒーター施工、制御盤設置、2次配線など、貴社のご要望に応じて対応いたします。

特長

  • 着脱自在です。
  • 低発塵性です。
  • 最高使用温度150℃(さらに高温仕様ヒーターも設計可能です。)
  • 低アウトガス(シロキサンは発生しない事を確認済みです。)

用途

  • 半導体・液晶装置関連の機器・配管類の加熱
    ・CVD、ドライエッチング装置の排気配管のデポジット防止
    ・CVD、ドライエッチング装置の供給配管の液化防止
    ・ドライポンプ、除害装置の配管の加熱
  • 食品機器関連の配管の加熱

その他

  • 「エネサーモ」「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標です。
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